Технология материалов микроэлектроники: от минерального сырья к монокристаллу

Рассмотрены основные процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов. Приводятся методики расчета технологических условий получения легированных полупроводниковых монокристаллов. Представлен комплекс лабораторно-практических занятий, основанный на моделировании процессов выращивания однородно легированных кристаллов и оценке влияния режимов роста на их электрофизические свойства. Предложены задачи для самостоятельного углубленного изучения дисциплины. Приведены справочные данные, необходимые для проведения расчетов. Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлению 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" и 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" по дисциплинам "Технология материалов и элементов
электронной техники" и "Технология материалов микросистемной техники".