Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления
Кузьмичев А.И.
Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы.
Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения.
Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения.
श्रेणियाँ:
साल:
2008
प्रकाशन:
Аверс
भाषा:
russian
फ़ाइल:
PDF, 11.38 MB
IPFS:
,
russian, 2008